真空爐包括真空淬火爐,真空回火爐,真空滲氮爐,真空滲碳爐,真空退火爐等等。其中真淬火爐又分為真空氣淬爐和真空油淬爐。
真空爐的工作,首先要提到的就是真空泵。一般設(shè)備配備有機械泵,羅茨泵,擴散泵,離子泵。根據(jù)真空度不同,所配備的設(shè)備也有所區(qū)別。常規(guī)的真空熱處理,只需要把真空度抽到10-1。所以設(shè)備只需要配備機械泵和羅茨泵。就足夠可以完成。要求高的產(chǎn)品,需要將真空抽到更高的真空度,比如10-3或者10-4。這個時候就需要擴散泵或者分子泵才能來完成了。其真空爐的工作順,第一步將真空爐內(nèi)抽到真空狀態(tài)。隨后再加熱至需要的溫度進行保溫,最終充入惰性氣體,如氮氣,氬氣進行冷卻。
真空爐生產(chǎn)的產(chǎn)品因為是在真空狀態(tài)下進行生產(chǎn)的,與常規(guī)的熱處理設(shè)備生產(chǎn)的產(chǎn)品具有表面干凈,光潔,不容易被氧化。真空釬焊變形量小等特點。