真空熱處理爐的真空系統(tǒng),必須滿足下述三個基本要求。
1,能迅速將真空熱處理爐抽至所要求的極限真空度。
2,應能及時地排出被處理工件和爐內(nèi)結構件連續(xù)放出的氣體,以及因真空泄露而滲入爐內(nèi)的氣體。
3,使用操作、安裝、維修保養(yǎng)要簡便,整個系統(tǒng)占地面積要小。
真空系統(tǒng)的組成:真空熱處理爐的真空系統(tǒng),一般由真空泵、真空閥門、真空測量儀表、冷阱、管道等部分組成,下面介紹幾種常見的真空系統(tǒng)。1,低真空系統(tǒng),適用于真空度在2-1333Pa范圍的真空熱處理爐,如遇抽井式真空爐多采用這個系統(tǒng),2,具有機械增壓泵的真空系統(tǒng),適用于真空度在1.33-3×10的負1Pa范圍的真空熱處理爐,真空淬火爐廣泛采用此系統(tǒng)。3,高真空系統(tǒng)及帶有增壓泵的高真空系統(tǒng),適用于真空度在1.3×10的負-2至6.6×10的負4Pa范圍的真空熱處理爐,真空退火爐、真空釬焊爐多采用此系統(tǒng)。
真空系統(tǒng)的選用:根據(jù)真空熱處理爐的使用技術條件和所要求的真空度,選擇適合的真空泵。再根據(jù)真空泵的類型、規(guī)格選配相應的真空閥門、真空管道等,從而組成所需要的真空系統(tǒng)。一般被抽容積與真空泵的抽氣速度有一定的關系,當確定真空熱處理爐的容積后,便可查出相應的抽氣速率,再由此選用真空泵。