1、真空爐主體
真空爐主體由爐體和加熱室構(gòu)成。爐殼、爐門、電機(jī)罩的殼體均由雙層筒體、雙層橢圓形封頭及法蘭用氣密性焊縫焊成。雙層筒體間為水道,內(nèi)通冷卻水。爐蓋采用鎖緊圈鎖緊結(jié)構(gòu)。加熱室設(shè)計(jì) 成圓筒形,由框架和石墨氈組成隔熱屏。
2、加熱系統(tǒng)
加熱系統(tǒng)包括加熱電源、溫控系統(tǒng)及加熱元件。加熱電源選用磁性調(diào)壓器, 其電壓調(diào)節(jié)由直流激磁來控制,按不同的控制信號(hào)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)自控,直流激磁電源由雙向晶閘管控制。溫控儀表具有自整定功能,熱電偶將電爐內(nèi)部的溫度轉(zhuǎn)換成電信號(hào), 將檢測到的爐溫當(dāng)前值與設(shè)定值之差, 經(jīng)PID運(yùn)算后作為輸出信號(hào), 控制雙向晶閘管的導(dǎo)通角,從而有效地控制加熱元件的平均加熱功率,使得爐溫與設(shè)定的加熱曲線相吻合。加熱元件為18 根石墨管,采用三角形接法,沿?zé)釁^(qū)圓周均勻分布,以提供良好的爐溫均勻性。加熱元件通過3 個(gè)水冷電極與外部接線聯(lián)接。
3、真空系統(tǒng)
機(jī)組主泵為KT-500 型擴(kuò)散泵,前級(jí)泵為ZJ-600型羅茨泵和2X-70 型旋片式機(jī)械泵。分別配有高真空閥、主路閥、旁路閥及與機(jī)械泵聯(lián)動(dòng)的電磁壓差閥。機(jī)械泵為粗真空裝置,機(jī)械泵的后一級(jí)串有羅茨泵,羅茨泵具有較高的抽氣速率,因此可以將真空系統(tǒng)抽到較高的真空度;但只有在被抽系統(tǒng)中的壓力達(dá)到羅茨泵允許入口壓力時(shí),羅茨泵才能開始工作,否則將會(huì)因過載和過熱而損壞。擴(kuò)散泵為高真空裝置,它是通過將真空系統(tǒng)中的氣體分子向高速油蒸汽射流中擴(kuò)散,并由前級(jí)泵排至空氣中,完成抽氣動(dòng)作。
4、風(fēng)冷系統(tǒng)
在真空爐主體的后部,裝有1 臺(tái)三相異步電動(dòng)機(jī),氣體由熱交換器降低溫度后經(jīng)導(dǎo)流罩、進(jìn)氣口、葉輪通過隔熱門進(jìn)入爐內(nèi)工作區(qū),再返回散熱器實(shí)施循環(huán)冷卻。
5、水冷系統(tǒng)
水冷系統(tǒng)由不銹鋼截止閥、進(jìn)水口、排水箱、水壓電接點(diǎn)壓力表等組成。進(jìn)水口設(shè)有63.5 mm (2.5in) 不銹鋼球閥、排水口設(shè)有101.6 mm (4 in) 法蘭,只需與用戶循環(huán)水系統(tǒng)接口連接即可。
6、分壓系統(tǒng)
分壓系統(tǒng)由電磁真空充氣閥、可調(diào)節(jié)針閥等組成。在銅釬焊過程中需要分壓控制時(shí)可充入高純氮?dú)饣驓鍤猓謮悍秶刂圃?~500 Pa。
7、充氣系統(tǒng)
充氣系統(tǒng)由大通徑充氣截止閥、集氣匯流排、真空電接點(diǎn)壓力表等組成。